ASML 首席技术官:明年将向客户交付首台 High-NA EUV 光刻机,光刻技术或走到尽头
9 月 28 日消息,ASML 首席技术官 Martin van den Brink 日前接受 BitsChips 的采访时表示,目前公司正有序推行其路线图,在 EUV 之后是 High-NA EUV 技术。ASML 正在准备向客户交付首台 High-NA EUV 光刻机,大概会在明年某个时间点完成,Martin 相信这个目标会实

更新日期:2022-07-21
来源:系统助手
小编 7 月 21 日消息,当地时间 7 月 20 日,光刻机巨头 ASML 发布了 2022 年第二季度财报。财报显示,2022 年第二季度,ASML 实现净销售额 54 亿欧元(约 372.06 亿元人民币),毛利率为 49.1%,净利润达 14 亿欧元(约 96.46 亿元人民币)。
ASML 今年第二季度新增订单金额创历史新高,达到 85 亿欧元(约 585.65 亿元人民币)。ASML 总裁兼首席执行官 Peter Wennink 表示,其中 54 亿欧元来自 0.33NA 和 0.55NA EUV 系统订单以及大量的 DUV 订单。
在 DUV 业务中,ASML 交付了第一套 NXT KrF 系统 ——TWINSCAN NXT:870。该系统实现了 27% 的吞吐量增长。应用业务方面,ASML 在客户现场内完成了第一套 eScan1100 多电子束系统的安装,客户目前正对其进行评估。
EUV High-NA 业务方面,ASML 收到了由供应商提供的首个 High-NA 投影光学模组和照明模组以及全新的晶圆台。这些模组将应用于 EXE:5000 项目的初始测试和集成中。
小编了解到,基于在 2021 年至 2023 年施行的股票回购计划,ASML 在 2022 年第二季度回购了约 12 亿欧元(约 82.68 亿元人民币)的股票。ASML 将从 2022 年 8 月 12 日起支付中期股息,即每股普通股 1.37 欧元(约 9.44 元人民币)。
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