ASML 首席技术官：明年将向客户交付首台 High-NA EUV 光刻机，光刻技术或走到尽头
9 月 28 日消息，ASML 首席技术官 Martin van den Brink 日前接受 BitsChips 的采访时表示，目前公司正有序推行其路线图，在 EUV 之后是 High-NA EUV 技术。ASML 正在准备向客户交付首台 High-NA EUV 光刻机，大概会在明年某个时间点完成，Martin 相信这个目标会实
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